簡介BALLUFF傳感器幾部分功能介紹
BALLUFF傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)是(shi)用(yong)標準的(de)(de)(de)(de)硅基半導體(ti)集成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)路的(de)(de)(de)(de)工藝(yi)(yi)技(ji)術制(zhi)造(zao)的(de)(de)(de)(de)。通(tong)(tong)(tong)常還將用(yong)于初步處理被測(ce)(ce)信號的(de)(de)(de)(de)部分電(dian)路也(ye)集成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)在(zai)(zai)同(tong)芯片(pian)上。 薄膜(mo)(mo)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)則是(shi)通(tong)(tong)(tong)過沉積(ji)在(zai)(zai)介質(zhi)襯(chen)底(基板)上的(de)(de)(de)(de),相應(ying)敏感(gan)(gan)(gan)材料的(de)(de)(de)(de)薄膜(mo)(mo)形成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)(de)。使用(yong)混合工藝(yi)(yi)時(shi),同(tong)樣可將部分電(dian)路制(zhi)造(zao)在(zai)(zai)此(ci)基板上。 厚膜(mo)(mo)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)是(shi)利用(yong)相應(ying)材料的(de)(de)(de)(de)漿料,涂覆在(zai)(zai)陶(tao)瓷(ci)基片(pian)上制(zhi)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)(de),基片(pian)通(tong)(tong)(tong)常是(shi)Al2O3制(zhi)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)(de),然后進(jin)行熱(re)處理,使厚膜(mo)(mo)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)形。 陶(tao)瓷(ci)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)采用(yong)標準的(de)(de)(de)(de)陶(tao)瓷(ci)工藝(yi)(yi)或其某(mou)種(zhong)變種(zhong)工藝(yi)(yi)(溶膠-凝(ning)膠等)。 完成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)適當的(de)(de)(de)(de)預備性(xing)(xing)操作之后,已成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)形的(de)(de)(de)(de)元(yuan)件在(zai)(zai)高溫中進(jin)行燒結(jie)。厚膜(mo)(mo)和(he)陶(tao)瓷(ci)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)這二種(zhong)工藝(yi)(yi)之間(jian)有(you)許多(duo)共同(tong)特性(xing)(xing),在(zai)(zai)某(mou)些方面(mian),可以認為厚膜(mo)(mo)工藝(yi)(yi)是(shi)陶(tao)瓷(ci)工藝(yi)(yi)的(de)(de)(de)(de)種(zhong)變型。 每種(zhong)工藝(yi)(yi)技(ji)術都(dou)有(you)自(zi)己(ji)的(de)(de)(de)(de)優點和(he)不(bu)足(zu)。由于研究、開發(fa)和(he)所需的(de)(de)(de)(de)資本投(tou)入(ru)較低,以及傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)參數的(de)(de)(de)(de)高穩定性(xing)(xing)等原因,采用(yong)陶(tao)瓷(ci)和(he)厚膜(mo)(mo)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)比(bi)較合理。 (空侶網暖通(tong)(tong)(tong)專家提供)6、傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)根(gen)據測(ce)(ce)量(liang)(liang)目(mu)的(de)(de)(de)(de)不(bu)同(tong)分類 物(wu)理型傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)是(shi)利用(yong)被測(ce)(ce)量(liang)(liang)物(wu)質(zhi)的(de)(de)(de)(de)某(mou)些物(wu)理性(xing)(xing)質(zhi)發(fa)生明顯變化(hua)的(de)(de)(de)(de)特性(xing)(xing)制(zhi)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)(de)。 化(hua)學(xue)型傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)是(shi)利用(yong)能把化(hua)學(xue)物(wu)質(zhi)的(de)(de)(de)(de)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)分、濃度(du)等化(hua)學(xue)量(liang)(liang)轉化(hua)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)電(dian)學(xue)量(liang)(liang)的(de)(de)(de)(de)敏感(gan)(gan)(gan)元(yuan)件制(zhi)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)(de)。 生物(wu)型傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)是(shi)利用(yong)各(ge)種(zhong)生物(wu)或生物(wu)物(wu)質(zhi)的(de)(de)(de)(de)特性(xing)(xing)做成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)的(de)(de)(de)(de),用(yong)以檢測(ce)(ce)與識別(bie)生物(wu)體(ti)內化(hua)學(xue)成(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)(cheng)分的(de)(de)(de)(de)傳(chuan)感(gan)(gan)(gan)器(qi)(qi)。
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