概述SMC2通氣控閥,SMC安裝要求
特長 溫度穩定性高、溫度調節范圍寬、具有故障診斷外部通信，多用于半導體工藝設備。
適用各種安全標準。
CAD 設定溫度范圍 冷卻能力 溫度穩定性 冷卻方式 循環液
HRZ  -20～90℃ 1.8～10kW ±0.1℃ 水冷冷凍式 氟素化液
特長 在HRZ系列高的基礎上，采用了DC變頻壓縮機，實現了省能化。
兼備廣泛的溫度調節范圍和冷卻能力范圍。
適用于更新周期短的半導體器件，可以靈活地響應不斷變化的工藝條件。

概述SMC2通氣控閥,SMC安(an)裝要(yao)求(qiu)

功能簡介:

氣控閥(fa)介質流動(dong)方向(xiang)應與(yu)閥(fa)體箭頭方向(xiang)一致，可(ke)以外(wai)接(jie)導(dao)壓(ya)(ya)(ya)管裝置出(chu)廠前(qian)均通(tong)過壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)(li)試(shi)驗，安(an)(an)裝時(shi)嚴禁損(sun)傷導(dao)壓(ya)(ya)(ya)裝置;閥(fa)上的1/2管接(jie)頭應安(an)(an)裝在水泵(beng)入口(kou)(kou)處;可(ke)水平安(an)(an)裝也可(ke)以垂直(zhi)安(an)(an)裝;限流止(zhi)回閥(fa)的需求揚程(cheng)大于0.1MPa時(shi)，先逆時(shi)針把四(si)通(tong)開大，然后再順時(shi)針逐(zhu)(zhu)漸關閉(bi)調(diao)壓(ya)(ya)(ya)閥(fa)，關閉(bi)過程(cheng)中出(chu)口(kou)(kou)壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)(li)會(hui)逐(zhu)(zhu)漸增大，直(zhi)至出(chu)口(kou)(kou)壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)(li)為需要揚程(cheng)時(shi)，即(ji)完成初(chu)調(diao)節，反復啟閉(bi)水泵(beng)2-3次，每次運(yun)行3-5分鐘，出(chu)口(kou)(kou)壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)(li)不(bu)變即(ji)完成調(diao)試(shi)工作;視水質情況應經常檢查出(chu)口(kou)(kou)壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)(li)值，當(dang)出(chu)口(kou)(kou)壓(ya)(ya)(ya)力(li)(li)(li)小于設定值時(shi)，應開啟過濾器(qi)排除污物。

按動(dong)作(zuo)(zuo)方式(shi)(shi)(shi)分(fen)類(lei)，可分(fen)為(wei)直動(dong)式(shi)(shi)(shi)和(he)先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)式(shi)(shi)(shi)。直接依靠(kao)(kao)電(dian)磁力(li)(li)、氣(qi)(qi)壓(ya)(ya)力(li)(li)、人力(li)(li)和(he)機械力(li)(li)使閥(fa)芯(xin)換(huan)(huan)向的(de)(de)(de)閥(fa)，稱為(wei)直動(dong)式(shi)(shi)(shi)換(huan)(huan)向閥(fa)。直動(dong)式(shi)(shi)(shi)閥(fa)的(de)(de)(de)通徑較小。先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)式(shi)(shi)(shi)氣(qi)(qi)閥(fa)由(you)先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)閥(fa)和(he)主(zhu)閥(fa)組成，依靠(kao)(kao)先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)閥(fa)輸出的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)壓(ya)(ya)力(li)(li)，通過控(kong)制活(huo)塞等推動(dong)主(zhu)閥(fa)芯(xin)換(huan)(huan)向的(de)(de)(de)那(nei)部(bu)分(fen)稱為(wei)主(zhu)閥(fa)。通徑大的(de)(de)(de)換(huan)(huan)向閥(fa)大都為(wei)先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)式(shi)(shi)(shi)換(huan)(huan)向閥(fa)。先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)閥(fa)又分(fen)成內部(bu)先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)式(shi)(shi)(shi)和(he)外(wai)(wai)部(bu)先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)式(shi)(shi)(shi)。先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)控(kong)制的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)源是主(zhu)閥(fa)提(ti)供的(de)(de)(de)為(wei)內部(bu)先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)式(shi)(shi)(shi)；先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)控(kong)制的(de)(de)(de)氣(qi)(qi)源是外(wai)(wai)部(bu)供給的(de)(de)(de)為(wei)外(wai)(wai)部(bu)先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)式(shi)(shi)(shi)。外(wai)(wai)部(bu)先(xian)(xian)(xian)導(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)(dao)式(shi)(shi)(shi)換(huan)(huan)向閥(fa)切換(huan)(huan)不(bu)受換(huan)(huan)向閥(fa)使用壓(ya)(ya)力(li)(li)大小的(de)(de)(de)影(ying)響，故換(huan)(huan)向閥(fa)可在(zai)低壓(ya)(ya)或真空壓(ya)(ya)力(li)(li)條(tiao)件(jian)下(xia)工作(zuo)(zuo)。

專門用于(yu)氣動系統(tong)和氣液回路(lu)控制

●正反向流動都可能的平衡座閥式

●氣控式(shi)、外(wai)部先導式(shi)電磁(ci)閥(fa)

產品(pin)型號:

SMC CDQ2A40-100DMZ-M9BL

SMC JC40-14-150

ITV3050-04F3CL 

CM2B32-300Z 

CDJ2E16-200Z-B 

MBL50-600Z

C96SDB125-75W

C96SDB125-85W

MBB80-100Z 

CDQ2D12-10DMZ

MKB25-20RZ

MKB25-20LZ

SMC MHY2-20D

SMC CDM2B40-450AZ

SMC SY7340-5LOZ

AW30-N02-2-B-X430 過濾減壓閥

AS2052F-08  調速閥

VBA42A-04GN

V114T-5GZ